萬物互聯(lián)時代，MEMS（微機電系統(tǒng)）芯片是智能設(shè)備感知外界的核心“神經(jīng)末梢”，亦是高端半導體與智能制造產(chǎn)業(yè)的重要根基。安徽華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線的正式投產(chǎn)，重點量產(chǎn)慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等，服務于汽車電子、高端裝備、光通信與醫(yī)療電子等關(guān)鍵領(lǐng)域，為國產(chǎn)MEMS與傳感器產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、高端化、自主化發(fā)展注入核心動能。
項目概況
據(jù)報道，該項目總投資50.6億元，坐落于蚌埠市經(jīng)開區(qū)中國傳感谷D區(qū)，占地154畝，建成8.7萬平方米的智能化廠房，是國內(nèi)**實現(xiàn)8英寸MEMS晶圓量產(chǎn)的生產(chǎn)線，加速推進“中國芯”國產(chǎn)化進程，實現(xiàn)我國高端MEMS器件自主可控。
視頻來源：中電二公司
英飛定制化解決方案：
半導體晶圓制造對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、穩(wěn)定性、安全性、降噪性有著極致嚴苛的行業(yè)標準，通風系統(tǒng)作為廠房環(huán)境調(diào)控的核心配套，直接決定生產(chǎn)線良率與生產(chǎn)安全。針對MEMS芯片制造的特殊工況需求，英飛量身匹配防爆型管道離心風機、邊墻軸流排風機、箱式離心風機等定制化設(shè)備，精準適配半導體廠房核心生產(chǎn)單元、輔助功能區(qū)域的通風換氣、潔凈凈化、防爆排風、靜音運行等核心剛需，以工業(yè)通風硬核技術(shù)，護航半導體高端智造。
管道離心風機ISQ/YFISQ：“翔欣?”五代后傾離心葉輪，效率高，不過載；精密雙曲線進口文丘里管減少紊流，降低噪音；方形無蝸殼結(jié)構(gòu)，體積小，重量輕，安裝便捷；葉輪平衡等級高達G4.0（AMCA204）。
中低壓離心風機YFBCSR：先進的R型葉輪設(shè)計，效率高、不過載；葉輪平衡等級高達G4.0（AMCA204）；一體化設(shè)計，結(jié)構(gòu)更可靠。
箱式離心風機YFISH：“獵鷹?”系列離心葉輪，效率高，不過載；低頻噪聲特性，體驗更佳；方形設(shè)計多出風方向，節(jié)省安裝費；平衡等級高達G2.5（AMCA204）；直聯(lián)驅(qū)動，無易損件，免維護。
邊墻軸流排風機YFWEX/YFWSP：前掠型葉片，漸進切削空氣，風量大，噪聲低；直聯(lián)驅(qū)動，無易損件，免維護；平衡等級高達G2.5（AMCA204）；方形外殼，極易邊墻安裝。
自項目投產(chǎn)以來，英飛提供的通風設(shè)備持續(xù)穩(wěn)定服役，運行參數(shù)精準可控、性能表現(xiàn)穩(wěn)定優(yōu)異，以高標準的落地成果，交出了高端半導體配套通風系統(tǒng)的優(yōu)質(zhì)答卷。
結(jié)語
從華鑫微納8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線到各類高端工業(yè)場景的全域通風保障項目，英飛始終堅守精工標準，持續(xù)加大技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，以更優(yōu)質(zhì)的定制化方案、更可靠的產(chǎn)品品質(zhì)與更完善的服務體系，賦能半導體產(chǎn)業(yè)智能化、綠色化、自主化升級，攜手行業(yè)伙伴共筑國產(chǎn)替代新格局，共創(chuàng)綠色智造新未來。
